ロール to ロールフォトリソ

NISSHAのフォトリソグラフィ

高精度なフォトリソ・エッチング加工の実現


加工精度と生産性に優れたロール to ロール方式の製造プロセスにより、安定した品質での大量生産に対応します。
微細なセンサーパターンを高いアライメント精度で形成することが可能です。

長年ノウハウを培ったロール搬送技術とフォトエッチングプロセスを組合せ、ハイスループットを実現します。

●仕様

成膜材料 ITO、Cu、Niなどの各種金属およびこれらの合金
ベースフィルム COP(ITO/Cu),PET(ITO,Cu合金など)
有効露光エリア Max 500×600mm ※特殊仕様最大サイズ:500×1000mm
Line/Space 10/10μm

※各仕様についての詳細は別途ご相談ください。

フォトリソグラフィのプロセス


1. ラミネート

片面、両面ラミネートどちらも可能で、ニーズに応じ対応致します。
高精度の張力(テンション)制御により高い寸法精度、反りコントロールを実現します。
ラミネート時には熱をかけることで、フィルム同士の密着性を高めています。
また真空環境下でのラミネーションも可能です。
これによりエアー噛みの無いラミネートを行い、高精細パターニングを実現できます。

ラミネート

2. 露光

フォトマスクを用い微細なパターンを露光します。
基材とマスクの位置合わせ技術を追求し、高い位置精度で形成します。

露光

3. 現像・エッチング・剥離

現像→エッチング→DFR剥離という
3つのプロセスで加工します。
自動建浴や液管理システムなどにより、
品質向上とコストダウンを両立しています。

現像・エッチング・剥離

4. アニール

クリーンかつ均一にフィルムを高温(可能温度 ~190℃)で熱処理することができます。
高精度な炉内温度管理により安定したアニーリングを行います。
製品の金属成分酸化を抑制しながら処理を実現しています。

アニール

加工の委託をご検討中の方へ

受託加工の流れ

1. ヒアリング

まずはご要望をお聞かせください。
具体的仕様が固まっていなくても、こんな事ってできないか?というアイデアレベルからでもOKです。

ヒアリング

2. 設計・仕様の検討、ご提案

お伺いした内容をもとに、弊社の生産技術部門が設計や仕様の詳細、最適な加工プロセスをご提案いたします。

設計・仕様の検討、ご提案

3. 仕様決定/御見積提示/受託

ご提案した内容を元にお客さまと打ち合わせを行い、仕様案を決定します。
技術的な難易度に応じた試作・検証のロードマップを添えて御見積を提示させて頂いた後、受託します。

仕様決定/御見積提示/受託

4. 試作・検証

受託した案件ごとに専門のプロジェクトチームを編成しキックオフします。
まずテスト試作を実施し、性能、品質をご確認いただきます。
分析・測定等の多様な評価機器を用い、ご希望内容の評価レポートを作成いたします。
また試作品の評価をフィードバックいただくことで、性能、品質、工法のブラッシュアップを行います。

試作・検証

5. 量産加工

品質管理を徹底し、加工を行います。

量産加工

6. 納品

徹底した納期管理の下、出荷いたします。

納品

品質管理体制

お客様に確かな製品をご提供できるよう、工程自動管理システム・データ分析ツール・自動外観検査・各種評価機器等の 多様なツールを駆使してプロセスを能動的に管理し、リーンな生産を実現します。

また、ビッグデータやAIの活用により、検査体制の効率化と生産性の向上に努めています。

品質管理体制

NISSHAの生産技術

貼合

貼合

カット

カット

パターニング

パターニング

モジュール加工

モジュール加工

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